2.4.3　电感测试版图

下面利用一组实际片上螺旋电感来举例验证2.4.2节所述的模型参数提取方法，这些电感是基于标准0.13μmRFCMOS工艺加工制作的［10］。片上螺旋电感设计的圈数为0.5、1.5和2.5圈，内径为20μm、30μm、40μm和50μm，金属线间距为2μm，金属线宽度为8μm。使用AgilentE8363C网络分析仪进行S参数测试，测量的频率范围为0.5～40GHz。图2.19～图2.22分别给出了内径为20μm、30μm、40μm和50μm的八边形电感物理测试结构。图2.23给出了射频S参数测试中的八边形电感（包括探针和焊盘）。

图2.19　内径为20μm的八边形电感物理测试结构

图2.20　内径为30μm的八边形电感物理测试结构

图2.21　内径为40μm的八边形电感物理测试结构

图2.22　内径为50μm的八边形电感物理测试结构

图2.23　射频S参数测试中的八边形电感（包括探针和焊盘）