半导体器件TCAD设计与应用

本书内容包括半导体工艺及器件仿真工具SentaurusTCAD，工艺仿真工具TSUPREM-4及器件仿真工具MEDICI，工艺及器件仿真工具SILVACO-TCAD，工艺及器件仿真工具ISE-TCAD及工艺仿真工具(DIOS)的优化使用、器件仿真工具(DESSIS)的模型分析，给出ESD防护器件设计验证方法、性能评估和仿真流程及VDMOSFET和IGBT设计仿真验证方法、流程。本书侧重TCAD技术应用，设计流程均经过流片和测试验证，具有代表性和实用性。为适应教学模式改革，本书配套多媒体电子课件。